什么是MEMS传感器（微机电系统）？

　　MEMS，英语全称为Microelectromechanical Systems，翻译成中文就是「微机电系统」，基本相同的概念，在日本被称作micromachines（微机械），在欧洲，则是MST（Micro Systems Technology，微系统技术）。

　　

　　MEMS是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术，MEMS的发展涉及并影响着很多领域的科学研究与技术进步，包括电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等。通常，它的操作尺度在微米级别。

　　

　　MEMS由尺寸为1-100微米的部件组成，一般MEMS设备的尺寸通常在20微米到一毫米之间。类似手机卡有Micro也有Nano，也有比MEMS更微型的机电系统，它的操作尺度在纳米级别。这种与MEMS类似的技术，被称为NEMS（nanoelectromechanical systems，纳机电系统）。

　　

　　MEMS的内部通常包含一个微处理器，以及若干获取外界信息的微型传感器。也因为操作尺度小，比大型电子、机械系统更容易受环境影响，MEMS在设计时需要考虑静电荷和磁矩等环境电磁作用，以及表面张力和粘度等流体动力学的影响。

　　

　　MEMS产业得以繁荣发展，离不开半导体产业加工技术的长足进步。

　　

　　「MEMS传感器」是采用微电子和微机械加工技术生产出来的新型传感器。得益于在微米尺寸工作的特性，MEMS可以完成一些传统机械传感器所不能实现的功能。这也成就了MEMS传感器相对于传统传感器的一些优势，例如：体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、成本低、适于批量化生产、易于集成等。

收藏