光学镜片经过精密抛光后通常透过率不高,必须经过镀膜才能使用。镀膜是一个将膜料通过蒸镀的方式一层一层叠加在镜片表面的过程。每层光学薄膜的厚度需要严格控制。通常监控膜厚的方式有光控和晶控两种方式。膜厚通常以纳米nm为单位。 可见光波段范围400-700nm,这是人眼可以分别的颜色。如绿色为532nm, 红光为633nm, 两者相差100nm。在此范围内运用的镜片,对镀膜中心峰值要求很高,通常控制的偏移量在5nm以内。波长越短,对中心峰值的位置精度要求越高,比如紫外355nm和266nm, 偏移量小于5nm。这对镀膜设备和工艺是非常苛刻的考验。 相对地,红外光学膜层由于都是长波um级,如CO2激光为10.6um ( 10600nm),红外热像膜层 3-5um,8-14um。 其膜层也很厚,通常都是um级别,因此中心峰值的位置精度就不会很高。同样峰值漂移0.1um (100nm),在可见光领域相当于红色变成绿色,膜层肯定不合格,然而同样情况发生在红外光领域,就相当于10.6um 到10.5um, 透过率的最大值没有变化(通常都是平坦曲线),只是外观颜色发生改变。 |
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