图1：真空保险丝 石英管上需要钻直径0.2mm的通孔，孔深10mm，用于排气，如图2所示。
图2：玻璃管钻孔 为了提高效率，需要扫描的方式打多个管子。
图3：扫描方式同步钻多个玻璃管 根据需求，我们提出并开发了如下光路方案。经过客户使用获得了良好的钻孔效果和加工速度。 1光路性能： 1.1焦距变化范围1.5mm，由扩束镜的凹镜和凸镜的间距改变进行变焦。间距变小系统焦距变长。 1.2理论焦深0.1mm。 1.3变焦精度0.05mm。变焦运动由直线电机完成， 1.4变焦速度1mm/s; 2 系统配置 2.1系统光路配置图
图4：配置和光路图 激光器是532nm激光器，经过高速电动变焦扩束镜，进入扫描镜头，该镜头是远心镜头。 3 工作原理与过程 逐步提高系统焦点的高度，从下往上逐层切割玻璃，直至钻透。工作示意图如图5，图6所示。  图5：钻玻璃底层 (扩束镜间距比较小)  图6：钻玻璃上层 (扩束镜间距比较大) 该方案采用的直线电机配有磁栅编码器，有良好的复位精度和定位精度。能保证逐层切割时的步进精度要求和重复效果。（ 咨询QQ：20600600 微信：photics）  图7：直线电机 |
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