准分子激光器简介

   准分子激光器是以稀有气体或稀有气体的卤化物为工作物质的气体激光器，主要发射紫外波段的脉冲激光；目前常见的有ArF（193nm）、KrF（248nm）、XeCl（308nm）和XeF（351nm）等。

一、为什么叫“准分子”？

准分子Excimer是Excited Dimers or Trimers的简写，意思为常态下不存在，受激条件下才形成的双核或三核；

以KrF准分子为例：

 Kr和F2在常态下不会反应；受到能量激发时，产生高能态的KrF准分子；极短的时间后（约10ns），高能态的KrF跳变至低能态，同时释放出光子；低能态为排斥态，即KrF准分子恢复成互不反应的Kr和F2。

二、准分子激光的特点

1，原生紫外、深紫外波段，不需要其他处理；

2，脉冲能量大、峰值功率高；

3，光束相干性低；

三、准分子的应用

1.工业应用

半导体集成电路光刻

液晶显示器薄膜晶体管的低温退火--液晶显示器

刻蚀高密度电路板

制作光纤布拉格光栅--光纤传感器

金属、陶瓷等材料的激光标记—宝石刻字等

喷墨打印机喷嘴钻孔

微结构的制作

细导线绝缘层的剥离等

2. 科研应用

脉冲激光沉积设备—材料学

激光化学、光谱学物理等实验仪器

3.医疗应用

激光近视眼校正手术

白癜风皮肤病治疗

   中科院安徽光学精密机械研究所从80年代开始进行准分子激光器的研制。实用化准分子激光器的研制成果曾获中科院科技进步2等奖和3等奖。曾经承担了中科院准分子激光器的攻关课题。目前承担了国家重大科技专项中的半导体制造设备的准分子光源项目。安徽光机所是国内最早从事准分子激光器研制的单位之一，也是目前国内唯一一家能够提供准分子激光器产品的单位，现已研发出的PLD系列的准分子激光器已投入市场应用。