深紫外中光学薄膜的偏振解析计量技术

        深紫外（DUV）领域的可靠计量仍具挑战性，尤其是在需要同时测量精准的 S/P 偏振分离和角度依赖特性时。

        EssentOptics 为 PHOTON RT 分光光度计开发了全新的测量功能，实现了低至 185 nm 起始波长的光学薄膜高偏振分辨率表征。与传统方法不同，PHOTON RT 平台无需真空腔室或氮气吹扫，即可在低至 185 nm 的波段内提供偏振分辨测量。

       在深紫外（DUV）激光器、光刻技术以及检测光学器件中，偏振态和入射角必须受到严格控制，因此准确的 S/P 偏振分离对于表征这些领域中的光学薄膜至关重要。PHOTON RT 仪器能够确保在整个深紫外波段内，对 S 和 P 偏振分量进行清晰、可靠的分离。

       示例：DUV 激光反射镜在 45° 入射角下的 S 偏振和 P 偏振反射率测量

       高测量重复性对于深紫外（Deep UV）光学薄膜的可靠合格认证至关重要。PHOTON RT 仪器能够提供稳定、低噪声的测试结果，并具备始终如一的重复性。

示例：在标准设置下连续进行 11 次扫描的测量结果（无平滑处理）

       该测量功能的核心亮点：

• 深紫外波段下探至 185 nm

• 精准的 S 与 P 偏振分离

• 低光谱噪声与高重复性

• 无需真空腔室或氮气吹扫即可进行测量

       该功能适用于 PHOTON RT 0217 / 0226 型分光光度计。

       如果您正从事深紫外（Deep UV）光学薄膜的相关工作，欢迎联系我们，了解此功能将如何提升您的测量准确性与可靠性。

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