四大核心功能助力半导体行业！“工业级光学检测利器”重磅登场 ...

　　产品简介

　　这是一款工业级白光干涉仪，可用于测量反射材料和光学元件的三维表面形貌、粗糙度、台阶高度和膜厚，兼顾速度与纳米级精度。

　　四大核心功能

　　1.非接触测量。

　　2.采用垂直扫描干涉(VSI)与相移干涉(PSI)两种测量模式，既能测大台阶，又能测纳米级高度。

　　3.短相干长度白光，有效抑制多反射、抗假干涉信号，测量更可靠。

　　4.NIST可溯源标准与自动校准算法，保证测量数据长期可靠、一致。

　　关键指标

　　LED白光光源，光谱范围450-700nm，中心波长550nm，垂直分辨率〈1nm，重复性小于10nm，量程500um，相干长度<3um，扫描速度100um/s，数据采集时间<10s。

　　应用领域

　　适用于半导体晶圆和精密光学元件等高要求应用场景。

　　参数表

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