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玻璃具有其他材料所不具备的独特性能。它拥有极好的光学性能,能反射、弯曲、透射和吸收光线,在整个可视范围内甚至更远,都具有较高的透明度。从化学性能来说,玻璃是一种抗腐蚀的惰性材料,可以作为很多化学品的容器。从热力和电力方面来看,玻璃是一种绝佳的绝缘体。从物理性能来看,玻璃表面坚硬,防刮耐磨,近年来通过各种方法,玻璃甚至具备了弹性。但是,也正是这些性能使得玻璃加工面临着更大挑战,例如一旦玻璃具备极好的抗拉强度,就变得易碎。
因此,处理玻璃的方法和其应用都需要从长计议。玻璃制造可以追溯到公元前3500年左右。人工制造玻璃大概首先出现在美索不达米亚和埃及,首先被用来制作珠宝,随后被用来制作壶。之后,加工工艺不断改进,从手工加工演变为现今的高科技工业工艺,出现了众多玻璃类别和应用。尽管玻璃制造历史悠久,但近几十年来由于玻璃的易碎性能,对于玻璃成品进行加工的工艺止步不前。
通常一个小裂纹就会造成玻璃破碎。一旦微裂纹在玻璃的某个部位形成,它就会蔓延至玻璃边缘,造成破裂。玻璃的这种易碎属性使其难以加工。另外一方面,不断发展的技术使其可制成结构更小,且形状各异的玻璃来应用于不同领域。传统的精确方法,如光刻和电子束光刻等来加工玻璃,但这些技术过于昂贵,不易操作,特别是大面积使用。现今,激光技术提供了加工玻璃的最精确方法。最直截了当的方法就是在波长范围内利用单光子吸收,玻璃在红外线或紫外线下不会高度透明。
但是,直接吸收会产生一些问题,包括不良热影响以及形成热影响区,这会产生微裂纹,严重危害玻璃的机械稳定性。此外,在玻璃表面下方进行加工,制造三维结构,需要使用高透明度波长。虽然纳秒脉冲激光器可以用于在玻璃中制造次表层结构(如图1),玻璃的物理机制会对微处理的精细程度造成限制,也会产生微裂纹。
图1:使用纳秒激光器(左图)和使用近红外(NIR)飞秒激光器(右图)对玻璃进行激光加工示例。
近年来,超快激光器在近红外波长范围内产生次皮秒脉冲工艺已投入工业应用。在这一方法中,超短脉冲紧密聚焦于玻璃的大部分或表面,每平方厘米的功率密度超过数太瓦,引发复杂多样的工艺,如同时多光子吸收、雪崩和碰撞电离,造成对玻璃基质高度局域化的破坏,同时几乎不存在能量沉积(只有几微焦甚至更少)。由于每次脉冲所用能量极其适度,对该部位(甚至是聚焦体积)造成的热影响可以忽略不计。这一方法通常被称为“冷消融”,可以用来制造极为精确的3D结构。和其他微制造技术相比,飞秒激光微制造透明材料具有独特优势。 加工强化玻璃 智能手机的兴起加大了显示屏的重要性。智能触摸显示屏(触摸屏)已经超越了手机键盘成为最主要的用户界面。典型的智能手机包括四块玻璃平板:两块在显示屏上,容纳薄膜晶体管和液晶材料;一块提供触摸功能;还有一块化学钢化玻璃盖板保护底层免于划伤,冲击损伤和脏物。由于用户想要轻便、纤薄的智能手机,更薄的玻璃面板被使用。典型的玻璃显示面板为0.3毫米厚;化学钢化玻璃盖板0.7毫米厚。这使得传统的切割工艺达到了极限。切削轮子已经不适合加工这种玻璃,因为他们都经过特殊的化学强化处理,而铣削加工则需要大量研磨和抛光上的返工工作。 红外和绿光波长的超短脉冲激光器正好可用于这种材料的加工。皮秒脉冲能减少裂缝的产生,切割质量远远超过普通的铣削加工。激光光束多次扫过被加工材料来实现切割。速度,边缘质量和边缘的角度可以由加工策略来决定。相对于其他的激光工艺,烧蚀工艺更稳妥:例如,轻微变形的玻璃并不影响加工结果。在测试中,使用绿光皮秒激光器,"Corning Eagle XG"的弯曲强度达280兆帕。使用红外皮秒激光器的测试结果表明速度增加三倍,边缘的弯曲强度略低。 更强大的皮秒激光器使我们有更大的机会来提高加工玻璃的效率。我们比较钢材和玻璃的烧蚀速度以及加工效率时这种机会尤为明显,由于等离子体屏蔽的原因,钢材的烧蚀效率在5 J/cm2的脉冲能量密度时开始降低,而玻璃允许更高的脉冲能量密度,直到加工效率达到最高。因此当加工玻璃时,更高的脉冲能量可以转化为更高的烧蚀效率。 当考虑进一步降低玻璃的重量和厚度时,人们可能会使用超薄玻璃。50微米厚的玻璃处理起来更微妙,对于机械加工也更敏感。事实上,这样的玻璃不用激光来加工已经是不可能了。 |





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