[讨论]面型分析
这里对于古典抛光而言,一般的认为PV值是RMS值的4-8倍。
一块100口径的平面,如果它的面型PV值达到1/5波长,RMS达到0.04波长,那么如果只是用其中的小块面积大约20口径时,它的面型精度能达到多少?(大致的估计)。如果反过来用局部口径的参数来估计大孔径参数呢?用PSD计算能有一个比较方便的估计吗?
如果认为面型数据为平稳随机过程,则口径的变化不会影响RMS值。但是一般来说使用干涉仪软件自带的MASK功能可以方便的看到各个孔径上的RMS确实会有所不同,这说明一般面型数据不是平稳的,那又用什么来估计呢。
☆