我们镀膜过程中 霍尔源的阴极电压瞬间跳到很小然后回复，引起这种现象的原因有什么呢？

是否洁净问题，出现了不干净，在灯丝的连接部分

多谢多谢  是离子源电源有问题了

通常人们把它叫打火，
要对离子源的参数进行调整，
我是说如果你的离子源比较清洁的话。