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SIC表面改性大约在其表面镀多少微米的SI膜为好?

APS1104

潜龙在渊

技术能手

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1# 大 中 小 发表于 2008-5-24 14:18  只看该作者

SIC表面改性大约在其表面镀多少微米的SI膜为好?

SIC表面改性大约在其表面镀多少微米的SI膜为好?具体工艺有哪些以及怎么改善膜的应力?望各位高手告知.

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