打印

电子枪速率

无语了

技术能手

Rank: 5 Rank: 5

1^# 大中小发表于 2008-5-18 08:12 只看该作者

电子枪速率

双电子枪镀滤色片,SIO2速率设定8,实际只有4出现过几次,而且蒸镀结束后电脑里没有过程记录,怎么回事,大家帮忙分析下.

TOP

zzzz

工程大师

Rank: 8 Rank: 8

2^# 大中小发表于 2008-5-19 08:44 只看该作者

1、设置错了
2、软件故障
////////////////////////

我本将心向明月,奈何明月照沟渠.

TOP

镀膜加游戏

工程大师

Rank: 8 Rank: 8

最佳水手勋章

3^# 大中小发表于 2008-5-19 16:22 只看该作者

sensor 换一个新的！！

再有看看程序！

TOP

镀膜加游戏

工程大师

Rank: 8 Rank: 8

最佳水手勋章

4^# 大中小发表于 2008-5-19 16:28 只看该作者

power 升到设定值了吗？

power 是多少？？你们的设定是多少？

TOP

shaodong1311

技术能手

Rank: 5 Rank: 5

5^# 大中小发表于 2008-5-20 22:15 只看该作者

应该是你的SIO2的密度设置的不对，或者是Z值没设对，后者的希望比较大，你先看看！

谢谢你的关照

TOP

liyazhou

技术人员

Rank: 4

6^# 大中小发表于 2008-5-27 10:47 只看该作者

设置问题或软件问题...........................................

TOP

zzzz

工程大师

Rank: 8 Rank: 8

7^# 大中小发表于 2008-5-27 12:59 只看该作者

楼主解决问题了没?
怎么也没个回应啊.

我本将心向明月,奈何明月照沟渠.

TOP

optin

专业人士

Rank: 6 Rank: 6

8^# 大中小发表于 2008-5-27 14:00 只看该作者

这个现象是瞬间的低点，并不会影响沉积过程。

TOP

镀膜加游戏

工程大师

Rank: 8 Rank: 8

最佳水手勋章

9^# 大中小发表于 2008-5-28 09:10 只看该作者

这楼主真不厚道！！

没踪影了

TOP

hezhiwei629

技术能手

Rank: 5 Rank: 5

10^# 大中小发表于 2008-5-28 09:49 只看该作者

应该是参数设置有问题了吧去查查IC/5的设置

TOP

nation

专业人士

Rank: 6 Rank: 6

11^# 大中小发表于 2008-7-4 00:20 只看该作者

都是简单问题啊从材料入手解决。

大功率离子源
leijai@163.com
13922937350

TOP

tfc

工程技师

Rank: 7 Rank: 7 Rank: 7

12^# 大中小发表于 2008-7-4 08:14 只看该作者

不够详细,你是说蒸发速率太低吗?达不到8?那同时有什么现象?另一种高电流的正常?
镀SIO2时是不是探头被挡了,SIO2有没有镀的特别厚?

食一黍泛一舟

TOP

涛哥

专业人士

Rank: 6 Rank: 6

13^# 大中小发表于 2008-7-5 14:02 只看该作者

这是正常的,蒸发速率瞬间的波动是由信号噪音造成.只要持续时间不长就没事.

TOP