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光学镀膜与膜系设计
» 镀AR時，製程溫度約80度C可行嗎？
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镀AR時，製程溫度約80度C可行嗎？
warstorm
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发表于 2008-6-11 09:24
只看该作者
所有膜都掉了？？是不是和基底的结合度不高啊，
能不能预镀一层sio2
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liwenjuanlwj
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发表于 2008-6-11 10:04
只看该作者
脱膜应该不会吧，我想是TI的折射率做不高
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snebur
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发表于 2008-6-11 22:34
只看该作者
提高附着力
需要不需要加个过渡层？
IF YOU THINK YOU CAN, YOU CAN!
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guangang
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发表于 2008-6-13 10:17
只看该作者
用的啥离子源？如果用RF源的话，膜层也不至于这么差吧？
闻道有先后,术业有专攻
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nation
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发表于 2008-7-4 11:47
只看该作者
都不加热都可以镀的，没有不可能的，只有想不到的。
大功率离子源
leijai@163.com
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涛哥
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发表于 2008-7-5 09:32
只看该作者
用ZR+SI试一试,70度不加IAD,镀的膜用水煮都不掉膜.也有可能是基片的问题.
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