求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围 - 光学镀膜与膜系设计 - 光电论坛 - BBS.OECR.COM

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发表于 2008-4-8 15:25 资料个人空间短消息加为好友

求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围

各位大侠好!!!!!
谁可以告诉我,离子束溅射镀膜中,粒子(沉积药材)的能量范围大致是多少?我想,粒子能量是影响膜层牢固度及其它性能的关键,当然,温度,真空度,药材匹配也很关键!!!
大家谈谈吧!

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发表于 2008-4-9 15:19 资料个人空间短消息加为好友

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