最近在镀膜，试验的几种材料，结果均匀性还是不错的，但是发现膜厚出现漂移，相同条件下做出来的片子，前后两次厚度相差达到40NM，有时候是前两次相差几个NM，到了第三次又会出现大的漂移。
    想请教下这个是怎么回事，还有就是计算“膜厚修正系数”的方法是不是通用的？
    用的是玻璃基片，材料是钛酸镧

镀膜我是外行，给你顶下可以！希望能被高手看到！

怎么就没有高人来指点一下那

用的是什么镀膜机器？最重要的是怎样检测膜层厚度的？反射法 or 透射法？

路过

解答不了

自己做的机器，国内一流，，，基本可以与进口货色相比，，，，
用的是透射法测的膜厚
期待您的解答

应该是控制的精度有问题了吧，另外，你是控制几层？

自己做机器那不就是中光了
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用的是什么膜料?
晶控还是光控?
开始镀时真空度,温度,分别是多少?炉与炉之间是否一致?

應該是控制的問題,以前我也有碰到過.膜層漂移

漂移问题我不知道怎么回事，不过后面那个计算系数好像不通用！
新手上路，请多关照！