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»
光学镀膜与膜系设计
» 发送离子源资料和讨论
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标题: 发送离子源资料和讨论
nanovac2
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#21
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发表于 2007-10-19 10:14
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pjlhzyy,
资料已发给你了。
nanovac2
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#22
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发表于 2007-10-20 20:46
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zhaojie585,
资料已发。
nanovac2
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#23
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发表于 2007-10-23 09:36
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Mark II有好几种中和器,除了最常见的钨丝以外,还有空心阴极以及射频中和器。希望有用过的讨论一下特点。
jxxjlw
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#24
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发表于 2007-11-8 21:26
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江西凤凰富士能光学有限公司
guanyu3144
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#25
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发表于 2007-11-10 02:11
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楼主能给我传一份麽?谢谢
zgmtcm@yahoo.com.cn
我们用的中科院的离子源
但是镀后的玻璃出现很多的细点子
清洁了底板和真空室之后试制效果比以前有所改观
我想请教一下
除了清洁之外
还有什么可能的原因呢?
mallika
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#26
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发表于 2007-11-10 10:13
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据我判断 有可能是离子源的问题...
专业的AE、ENI/MKS 等离子电源维修、销售中心!
www.aeni.com.cn
联系人:李女士 电话:13922438112
guangang
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#27
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发表于 2007-11-10 11:09
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QUOTE:
原帖由
nanovac2
于 2007-10-23 09:36 发表
Mark II有好几种中和器,除了最常见的钨丝以外,还有空心阴极以及射频中和器。希望有用过的讨论一下特点。
我這裡用的是Mark II+Ho的,即空心陰極的離子源,VEECO的,但是陽極能量以前用的是160V,5A,有時候用到160V,7A,但是現在隻能用到120V,4A,如果能量再往高調整的話,離子源就打不起來,各位知道這是什麼問題,該如何來解決?
闻道有先后,术业有专攻
lb_allwishes
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#28
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发表于 2007-11-10 12:02
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楼主也给我传一份吧
lb_allwishes@yahoo.com.cn
谢谢!
兄弟姐妹原本就是天上飘下来的雪花,
谁也不认识谁,
但落地以后便溶成一体,
结成冰,化成水,
也就再也分不开了
maxwell77
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#29
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发表于 2007-11-21 16:31
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给我一份吧!多谢楼主了啊!
zf_shen@163.net
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#30
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发表于 2007-11-24 12:47
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楼主能给我发以下两种离子源的资料啊?
zgn812@21cn.com
VEECO Mark II 空心陰極的離子源和Leybold APS 1104
不胜感激!!!!!!!
nanovac2
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#31
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发表于 2007-12-7 10:45
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谢谢以上各位,最近出差未及回复,现已将资料已发给大家了。
nanovac2
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#32
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发表于 2007-12-7 10:49
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guanyu3144,
出现细点子主要还是清洁问题。注意工件表面的清洁,真空室也应该定期清洁维护。
nanovac2
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#33
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发表于 2007-12-7 10:55
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guangang ,
你的问题可能是离子源开始积垢,锥形阳极表面,分流盘,以及各陶瓷件注意一下,看是否有膜材料沉积,若有,要清洁去处,如抛沙除垢,若无条件可用细目砂纸打磨掉。
zhaoyagang
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#34
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发表于 2007-12-7 16:22
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正在运用离子源辅助镀膜,请楼主给点资料.谢了! EMAIL:XI001693@SINA.COM
☆
nanovac2
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#35
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发表于 2007-12-8 07:32
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zhaoyagang ,
资料发给你了。
thaimaychant
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#36
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发表于 2007-12-8 23:03
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离子源拆下来清洗,很经常再按上去就不好使
flytiger8
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#37
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发表于 2007-12-14 20:48
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我也是刚开始使用离子源镀膜,向楼主讨些相关的资料,EMAIL:flytiger.1111@163.com
flytiger8
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#38
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发表于 2007-12-14 21:15
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给楼主发了一封邮件,先在这里谢谢了
1192a
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#39
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发表于 2007-12-14 21:34
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楼主,我也需要,能给我发一份吗?谢了,我的邮箱是
www.leilei1987622.com
1192a
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#40
使用道具
发表于 2007-12-14 21:44
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给我发一份好吗?谢了我的邮箱是
www.leilei1987622@163.com
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