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发送离子源资料和讨论

pjlhzyy,

资料已发给你了。

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zhaojie585,

资料已发。

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Mark II有好几种中和器,除了最常见的钨丝以外,还有空心阴极以及射频中和器。希望有用过的讨论一下特点。

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给我一份
jxnclw@163.com
江西凤凰富士能光学有限公司

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楼主能给我传一份麽?谢谢
zgmtcm@yahoo.com.cn

我们用的中科院的离子源
但是镀后的玻璃出现很多的细点子
清洁了底板和真空室之后试制效果比以前有所改观
我想请教一下
除了清洁之外
还有什么可能的原因呢?

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据我判断 有可能是离子源的问题...
专业的AE、ENI/MKS 等离子电源维修、销售中心!
www.aeni.com.cn
联系人:李女士 电话:13922438112

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引用:
原帖由 nanovac2 于 2007-10-23 09:36 发表
Mark II有好几种中和器,除了最常见的钨丝以外,还有空心阴极以及射频中和器。希望有用过的讨论一下特点。
我這裡用的是Mark II+Ho的,即空心陰極的離子源,VEECO的,但是陽極能量以前用的是160V,5A,有時候用到160V,7A,但是現在隻能用到120V,4A,如果能量再往高調整的話,離子源就打不起來,各位知道這是什麼問題,該如何來解決?
闻道有先后,术业有专攻

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楼主也给我传一份吧
lb_allwishes@yahoo.com.cn
谢谢!
兄弟姐妹原本就是天上飘下来的雪花,
谁也不认识谁,
但落地以后便溶成一体,
结成冰,化成水,
也就再也分不开了

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给我一份吧!多谢楼主了啊!
zf_shen@163.net
健康法所得

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楼主能给我发以下两种离子源的资料啊?      zgn812@21cn.com

VEECO  Mark II  空心陰極的離子源和Leybold  APS  1104


不胜感激!!!!!!!

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谢谢以上各位,最近出差未及回复,现已将资料已发给大家了。

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guanyu3144,

出现细点子主要还是清洁问题。注意工件表面的清洁,真空室也应该定期清洁维护。

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guangang ,

你的问题可能是离子源开始积垢,锥形阳极表面,分流盘,以及各陶瓷件注意一下,看是否有膜材料沉积,若有,要清洁去处,如抛沙除垢,若无条件可用细目砂纸打磨掉。

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正在运用离子源辅助镀膜,请楼主给点资料.谢了!   EMAIL:XI001693@SINA.COM

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zhaoyagang ,

资料发给你了。

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离子源拆下来清洗,很经常再按上去就不好使

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我也是刚开始使用离子源镀膜,向楼主讨些相关的资料,EMAIL:flytiger.1111@163.com

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给楼主发了一封邮件,先在这里谢谢了

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楼主,我也需要,能给我发一份吗?谢了,我的邮箱是www.leilei1987622.com

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给我发一份好吗?谢了我的邮箱是www.leilei1987622@163.com

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