zygo测量准确，外商认可。砖头说PV值是镜片表面上最高点和最低点的差值。RMS镜片表面上那些坑坑包包差值的平均值这是对的，是整个测量面上的最高点和最低点，对应光圈值，不是局部光圈不规则。在分析选项时，选去球面，去柱面，去倾斜得到的PV就是局部光圈不规则。表面上若有疵病或脏点可以屏蔽掉，不影响PV测量。RMS（中误差）在1/6左右反映面型精度是正态分布，离散小。

通常来讲我们说的亚斯就是干涉仪测的pv，基本是一个概念。干涉仪测的最好是整个面的面型偏差，那么就和我们用样板所看的光圈变形基本是一致的，当然，用干涉仪测得的数字更为准确，毕竟用样板看的只是我们自己的估算，而且用干涉仪判断有个好处，就是变形比较大的镜片表面，由于在光学应用上我们并不用镜片的整个面，这样一来我们可以用干涉仪只看我们需要的那部分变形是否在我们的要求之内就好了。因为一个镜片在切边之前有个加工有效径，加工后还有镀膜有效径，还有光学有效径等等，我们对一个镜片的好坏选择主要取决于光学有效径内的面型偏差是否符合我们的规格，一个看光圈的老手在知道镜片的光学有效径后是可以借助样板来判断这个镜片的优劣的，遇到边缘状况时就要参照干涉仪了。
至于光圈，用样板观测比较好吧，我还没有接触用干涉仪看光圈数的，暂时还没学到呵呵。
规则的完全平行的直线的光圈是0本的，说明样板与被测镜片是一致的，规则的平行但是有弯曲的要视弯曲程度，可能是0.2，也可能是0.3，超过1本的就通过查圆弧了，假设建立一个坐标x,y轴，其中一个轴必须通过光圈最多最密集的一方，然后从左到右查过来除以2，就是本数了，这个在网上是可以找到的

说了这么多，给你们发个文章就全懂了
怎么上传不了，下次传了

PWR，即power值表征的,一般是指离焦.

除了干涉仪比样板客观，准确外。干涉仪可以实现样板无法进行的测量，1 测量带高反膜表面的光圈；2 平面10道圈左右时要求测不规则0.1；3 测量材质光学均匀性；4 测量光学系统干涉图形时。用MTF（传函），星点图，泽尼克多项表示。