各位大虾：
我这边的镀膜机，800，现代南光，感觉刚洗完机器抽速很快，但是过了两个礼拜左右抽速就变得慢好多了。如果再洗就又快了。差别很大。不知道大家有没有碰到这种情况？镀的介质膜，MgF2，ZrO2,Al2O3之类的膜料。

如果机器正常的话，MgF2单层膜用南光的800机镀，阻蒸，从这次进炉到下一次进炉45分钟可以么？
感觉关键是真空不够快。

如果你烤３００度＼５乘－３镀，这不算慢，见过一人，抽１５分钟就镀的，不管真空．

镀MGF2应该真空高点吧.你看看机械泵的油颜色是否氧化了.你可以练一下油

是机器脏，都是这样字的

阻蒸,都有这样的通病,是本身工艺过程决定的.

我的机器800机，两圈烘烤，设定温度360度，实测270度，抽到5乘-3镀，可以么？
用电子枪镀感觉真空返得厉害，而且很废料。

我说的是在上述情况下，用阻蒸镀。

引用:

原帖由 x_x_x_f 于 2007-8-25 09:36 发表
我的机器800机，两圈烘烤，设定温度360度，实测270度，抽到5乘-3镀，可以么？
用电子枪镀感觉真空返得厉害，而且很废料。

很正常的哦,料里面本身空气也很多的,抽抽就好了

用两周才洗把错了
一周一洗的都多的是了

我们当时洗的更不勤.半个月呢.

郁闷，我们现在的日本的机器 ，要两天清一次呢！
清机后，35就能抽到3E-5Torr

国产现在南光的机子是这样的，我们有110的要抽三个多小时咧。最快的时候也要两个小时。不过不一般不会超过一时间真空就会掉下来。厂家人来了好几次都解决不了

国产现在南光的机子是这样的，我们有110的要抽三个多小时咧。最快的时候也要两个小时。不过不一般不会超过一时间真空就会掉下来。厂家人来了好几次都解决不了

感觉狂郁闷。太慢了撒

欧,是这要的吗,太慢了撒

欧,是这要的吗,太慢了撒

晕倒，镀什么产品啊，我们都三四天清洗一次，而且只做白天的。

#14楼：
这么慢肯定不对的。粗真空慢不慢？

晕倒，镀什么产品啊，我们都三四天清洗一次，而且只做白天的