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[求助]有没有人做微位移测量的？

hjzcky000

技术人员

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1^# 大中小发表于 2007-5-21 17:19 只看该作者

[求助]有没有人做微位移测量的？

精度要控制在10um以下

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hjzcky000

技术人员

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2^# 大中小发表于 2007-5-21 17:20 只看该作者

还有，最好是反射式的

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wsminmin

技术人员

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3^# 大中小发表于 2007-5-22 04:22 只看该作者

不懂，看来同一专业的不同方向也是各行如歌山啊

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流落地球

业余爱好

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4^# 大中小发表于 2007-7-1 22:51 只看该作者

请问你的量程是多少？有兴趣可以联系phyldl@eyou.com

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bignet

工程大师

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5^# 大中小发表于 2007-7-18 17:47 只看该作者

很简单，用干涉仪，嘿嘿，改混干涉仪，就懒得想别的办法了
或者四象限探测器？

以前混投影的，现在改混干涉仪！

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iViewdisplay

技术能手

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6^# 大中小发表于 2007-7-20 18:05 只看该作者

laser triangulation, such as keyence sensor. LK or LC series

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tingwhere

技术人员

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7^# 大中小发表于 2007-8-20 08:59 只看该作者

用现成的干涉仪不知道行不?

大悲无泪,大笑无声,大悟无言

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zqxc60

工程大师

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8^# 大中小发表于 2007-8-25 13:40 只看该作者

以前作过,,,,测量0.1um左右的形变,,,,,干涉法很直观,数据不好处理!
你这个干涉能测,,,但衍射法也能测,,,不过可能在相位解缠上比较麻烦!

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shaka2007

shaka

技术能手

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9^# 大中小发表于 2007-8-29 15:45 只看该作者

可以考虑使用全息的办法

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tingwhere

技术人员

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10^# 大中小发表于 2007-8-31 08:38 只看该作者

有哪位能说说用于位移测量的干涉仪的具体型号

大悲无泪,大笑无声,大悟无言

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kilby

新手上路

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11^# 大中小发表于 2007-12-20 22:30 只看该作者

you can try "Low coherence reflectrometry" for um resolutions.

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zcyclone

专业人士

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12^# 大中小发表于 2007-12-23 21:54 只看该作者

精度与测量范围是紧密相关的,在小范围内做到亚微米级的都没有问题,方法也很多.

沾光就好

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