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长风破浪

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tT
发表于 2005-10-31 03:22 | 只看该作者

连续多室磁控溅射镀膜

溅射, 磁控, 镀膜
这里有没有使用连续多室的磁控溅射镀膜机的高手啊
LEYBOLD或者ULVAC的
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zmst

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发表于 2005-11-1 03:49 | 只看该作者
你想了解什么？不过本人不是高手，呵呵
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whpe2000

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发表于 2005-11-1 18:52 | 只看该作者
this is leyboldoptics inline sputtering system
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长风破浪

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发表于 2005-11-2 00:05 | 只看该作者

楼上的室比我们多啊

不过和我们的一样是立式的吗？

和你们交个朋友啊

chutian613@tom.com
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发表于 2005-11-2 00:09 | 只看该作者

黑色的是耙材吗?

分子泵还是低温泵
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whpe2000

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发表于 2005-11-3 00:33 | 只看该作者

该设备拥有13个连续真空室，高真空获得设备为涡轮分子泵，

图中黑色部分为靶材。

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长风破浪

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发表于 2005-11-4 01:47 | 只看该作者

13个室

那还是满多啊，做玻璃行业的吗
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yh15430

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发表于 2005-11-4 18:34 | 只看该作者

Zuo taiyang neng baomo de ba ?

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飞天狐狸

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发表于 2005-11-5 18:51 | 只看该作者
分子泵+罗茨泵+机械泵

[glow=255,red,2]我年轻我无所畏惧！ [/glow]
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发表于 2005-11-9 16:18 | 只看该作者
这个主要是做什么的，能说下吗
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发表于 2005-11-9 21:04 | 只看该作者

目前连续的磁控应该主要在ITO和各种玻璃行业吧
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lcm5732

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发表于 2007-7-24 22:26 | 只看该作者
楼主说的是不是卧式的连续式磁控溅射啊？对不起，我看不到图片，
我是做磁控的，立式的也有接触过，不过不是高手，呵呵
你那里主要做什么产品啊？
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lcm5732

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发表于 2007-7-24 22:30 | 只看该作者
这下看到图片了，好大的家伙，呵呵！
我做的是只有5个腔体的连续式磁控，RP+BP+DP和RP+BP+CP我都有做过，不知道和不和你那里的一样
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huangdengpin

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发表于 2007-7-25 20:06 | 只看该作者

镀膜机

我是搞韩国机的,这种有要小些.
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发表于 2007-9-2 21:52 | 只看该作者
ulvac 这种立式的设备倒见过，不过使用在TFT7代以上。
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bobo0508

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发表于 2007-9-3 08:56 | 只看该作者
我们公司也是试用莱宝的真空设备，好像比楼上图片的设备要老很多，呵呵！
老老实实做人，认认真真做事！
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zzzz

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发表于 2007-9-3 09:08 | 只看该作者
真是好大啊
//////////////////////////////////
我本将心向明月,奈何明月照沟渠.
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发表于 2007-9-7 14:21 | 只看该作者
设备本身很先进，但是由于设计时费用的缩减，使得功能很局限，也算是一个缺点，有需要交流的support@prochina.com
[glow=255,red,2]我年轻我无所畏惧！ [/glow]
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zinuo009

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发表于 2007-9-9 14:40 | 只看该作者
过隐
大家再发点图片
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caodecd

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发表于 2007-9-10 13:11 | 只看该作者
其实磁控溅射主要是靶子设计！现在都采用中频溅射技术镀制介质膜！另外就是分析膜系的作用！来制造设备！所以大小完全根据生产厂家对产品的要求和自身经济情况而定！我们是做设备厂家！光连续镀制L-E，有的厂家只要四层！而最多厂家要17层（可以做双银）！那样的话最大可以达130米左右！目前在国际上就阿登拉和我们做这样的产品！不过别个技术高多了！要不我们一直没有制造出柔性连续镀膜！而大家在这方面输给莱宝！
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