个位大哥哥，小弟我最近在为一个题目查找资料！关于精密测量技术测量微小位移的！请大家给我一些这方面的资料，有关的书籍和测量仪器的资料，请跟我联系，zyfnpu＠126.com

要确定方向才能找资料

具体是要用迈克尔逊干涉仪或法—泊干涉仪对压电陶瓷的随电流非线性位移的测量，可能要应用上CCD进行纪录，对于CCD那位大虾可以提供资料和试验方案的。小子我在此谢谢了！有什么消息可以写上面的地址联系：zyfnpu@126.com

好像现在的pzt工作台都是用电容传感器做反馈的吧.

只有溯源到米定义时才用干涉仪标定.

至于基于研究目的才会出这种题目,没前途.

装上一个平面镜，用fft方法来计算相位变化然后换算成位移量。测量精度可以达到1nm,但是必须小步连续移动。

可以用全息照相的方法照出变化前后的两次图象然后进行比较测量

http://www.zygo.com/products/zmi/dmiprim.pdf