用ZYGO公司的NEWVELL 5000系列的.

可以用显微轮廓干涉仪（wyko的NT系列和zygo的NE系列,或泰勒公司的）

也可以用 AFM(原子力显微镜)

均可以达到"埃"(亚纳米)级的水平,但显微轮廓干涉仪和AFM各有不同.价格均不菲,100万人民币以上.

一般的光学加工厂都可以检测。

中国计量院光学室

请教光洁度的英文怎么写，是一个什么样的概念，什么60，40，20是什么意思?日本人的表示方式是一样的吗？

很多工厂自己都可以测的，有Zygo或Tylorsalf 都可以做的，只不过是有点大材小用

以下是引用zhoutf在2004-8-20 9:37:20的发言： 请教光洁度的英文怎么写，是一个什么样的概念，什么60，40，20是什么意思?日本人的表示方式是一样的吗？

1:光洁度英文标示：B

2：60/40，40/20等是美国军标，代表对表面光洁度等级的不同要求，其中前个数字代表亮丝，后面数字代表麻点。

轮廓仪我的屋就有蛮准的

南京qq87149898英国轮廓仪精度蛮高