好象明白一点了，
除了整波长记数以外，还有个小数波长（相位）的问题？
如果初相位是固定的话，关键就是末相位的问题了？
对最后一个波需要有个振幅的模/数转换，才能得到正切值？

另外，从波形上看，有振幅相差较多的情况，
除了你说的原因以外，是否还与激光的散斑不均匀有关？
这个“小振幅”的出现是否有一点规律呢？还是完全随机的？

还有波形的疏密变化，似乎是与干涉条纹的疏密相对应的了？
不过你说过，窗内的条纹密度是一定的，只是条纹会移动？
或者条纹在移动的同时还会产生密度的变化？
要不就只是局部放大了的波形？

好象华中科技大有类似的项目，
不过可能只是对一般表面形貌的测量，不是针对盲孔的？
他们给出的最大测量速度是0.5mm/s，看来光栅都不能转的太快？

小振幅的出现是由于被测面凸凹不平，导致干涉条纹往复移动造成的，属于正常现象。
波形疏密变化是也是由于被测面凸凹不平，导致测头跟随速度变化引起的，测头移动速度快，条纹移动就快，波形就密，反之亦然（采样频率是恒定的）。
只要是接触式测量速度就快不起来，因为你要保证测头始终与被测面有良好的接触；使用非接触测量就没有这个问题，但是现在光学非接触测量达不到nm级的精度，而且成本相当的高，同时光学测量往往要求被测面有较高的反射率。

[这个贴子最后由土豆在 2003/08/23 11:51pm 第 1 次编辑]

小振幅的问题似乎还有些疑问，其他的明白一些了，
非接触是不容易，象光纤端面那种外露的微表面还可以用“白光干涉法”，
不过这个盲孔就不太容易了，
不知有没有类似隧道显微镜那样的东东呢？

　大家好,这几天没有更新,主要是因为开学伊始有很多的事情要处理。这学期本来是准备靠上海交大的博士的，一切都准备就绪，但是学院里却不让报名：怕提前靠博影响课题质量。交大一年只能报一次，这次不行，只能明年了。心里非常郁闷！像我们这种普通工科院校，研究生出来也和重点院校没法比，如果不行只好先找工作了。
　大家一直都关注着我的进展，应该对我的研究方向有所了解了，如果有什么好的求职信息还请多多关照。我主要想去上海苏州方向（由于女朋友的原因），先谢谢啦！

[这个贴子最后由xxffyy在 2003/09/04 09:37am 第 4 次编辑]

  计数器记小数部分的校正
　前几次跟大家提到的计数器功能主要分大数和小数两个部分，记大数是由硬件芯片完成，而小数部分则要从两相正余弦电压信号换算成正切值得到。理论上这两相电压信号应该具有零漂移电平、等幅值、相位相差９０度。但实际上由于光栅刻划工艺的限制，测量环境中空气湿度、振动、电子元器件漂移等影响难以满足要求（如图中实线所示）。从而导致得到的小数部分不准确。为克服这一影响，需进行校正。
　校正的方法是每次开始测量时先采集几个周期的正余弦电压信号，运用最小二乘法计算出相应的修正系数并保存为文件。正式测量时调用修正系数对采样值进行实时的修正，从而保证得到的小数部分准确。修正后的两相电压波形如图中虚线所示。修正前后的信号李萨如图形（矢量合成图）如图２中所示。很明显，修正前为椭圆，而修正后已经非常接近圆了。这足以保证得到的小数（相位）是准确的。

两相信号矢量合成图（李萨如图）

不错

要写得详细一点好啊

这是什么啊！
地球吗？真是、、、奇怪

看来小功告成了？

有点看不明白
能不能说清楚点

按土豆的粗略理解是：
要测量孔深就要用某种方法得到与孔深相对应的条纹个数（与波长个数相关），
条纹个数和形状（条纹光强度按正弦分布）可以用CCD精确和计数，
但是为了精确测量，就要考虑“小数条纹”，比如100.5个条纹，
前面100个整数条纹（大数）容易通过脉冲或方波硬件计数，
这0.5个条纹就难一点了，
要通过计算正弦曲线上该点切线夹角的正切值来确定
（或者直接用正切值确定？），
比如0.5个条纹对应的切线夹角正切值显然是0，
这就要求测得的正弦曲线应尽量符合标准的正弦曲线，
可实际上CCD光电转换过来的测量值往往是不标准的，
表现为那个图中的不规则、变形很大的圆，
这又要对原始测量值用最小二乘法做曲线拟合修正，
具体就是要求出修正系数，以后的实测值都用这系数来修正，
经过曲线拟合修正后的曲线就很接近标准的正弦曲线了，
表现为图中与圆形很接近的红线圆，

我说的差不多吧？还请鲁班斧正，

你讲得大致没错，看来还是有人能够理解的。不过我最近发现用正切曲线进行细分并不好，因为正切曲线线性不好，而且在整周期：0－360度之间不连续，而且90度、270度附近斜率趋向无穷大，相位分辨的灵敏度趋向于零。目前正在试验一种新的细分方法，希望能够有所改进。不过因为论文还没有发表，所以在这里就先保一下密了。

xxffyy近照，很帅吧？

一体化,这条路太艰辛了,

经历很相似也

真的不错。光学只有这样才能发挥它的长处，也只有这样，光学人才能找到好工作。哈哈

不错,做起来就有收获,总比纸上谈兵好多了.

真有课题做时，有点痛苦！

老兄，从头看完你的研究历程，学到很多东西，我也是搞光的出生，感觉要想做出点东西，离开电子和信号等的知识还真做不出什么名堂，