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[求助]退火对膜的影响

slyz

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紫外探测

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1# 大 中 小 发表于 2003-6-17 18:46  只看该作者

[求助]退火对膜的影响

“在SiO2衬底上生长的多晶硅薄膜，经脉冲退火后晶粒的择优取向变成〈100〉晶向
”
该怎么解释阿？☆
主要方向：紫外测量，大气物理，希望和大家多多交流！ qq群：6667897 qq:40813454 E-mail: quyi972@sohu.com

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slyz

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紫外探测

技术支持勋章 优秀斑竹勋章

2# 大 中 小 发表于 2003-6-20 18:09  只看该作者

[求助]退火对膜的影响

实验的，理论的，都可以呀！
主要方向：紫外测量，大气物理，希望和大家多多交流！ qq群：6667897 qq:40813454 E-mail: quyi972@sohu.com

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ic5

大海

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技术支持勋章 优秀斑竹勋章

3# 大 中 小 发表于 2003-6-20 18:46  只看该作者

[求助]退火对膜的影响

没做过！

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