本人用南光700，镀制减反射膜（多层），膜层总是出现雾状，有时是均匀的在玻璃表面，有时呈螺旋状。这种情况已经捆饶我很长时间，请各位高手为小弟解困。在下一家老小感激不尽。


我的email-gu97a@163。com
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这种问题我觉得有两种可能：）1、看你的膜系用的是什么材料？
2、擦拭问题

工作环境不清洁

我们这里出现过类似情况，只不过不是在南光机器上，主要是清擦不干净，和环境潮湿等原因造成的

       不错，可能是你上盘的时候环境不太好。要么就是技术的问题。
      真空度是多少？

谢谢各位高手的指点
我镀膜时真空度是2-5*10exp（-3）pa，应该还可以啊。除了环境因素，镀膜材料，和蒸发技术有没有影响啊？（另外，上盘时的环境影响大吗？？）

你能告诉我你都用哪些膜料？
还有你的成膜温度多少，你试试适当降低一点

试用甘油1：1碳酸钙搽试再清洗后脱水上伞镀膜！！！！！！！

        你用保护气了没有？

    你的工件镀膜面大小？！手工清洗还是超声波清洗？

万分感谢各位大哥的赐教。
我镀的只是普通的三层增透（sio2，al2o3，zro2），没有使用保护气，玻璃是手工擦拭的。
兄弟入行晚，请各位指点一下蒸发过程中的技术。谢谢

可能镀膜前洗净有关！本人有整套清洗技术，可以同我联系：0769-3364999赵生

不是清洗的原因吧？手工清洗是不会大量出现这种情况的，我们这里也是手工清洗，不存在这方面的问题

清洗可能会产生这样的问题，但整罩的膜发雾还应在镀膜中找答案。

1.用离子源吗?如用请清洗之
2.熔料方面也要考虑

可能跟氧化镐氧化铝有关，氧化铝虽然折射率好用，但蒸发预熔很难把握，折射率也不稳定。预熔的不好就会产生点子。氧化镐镀的不好时会出现雾状。