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[讨论]膜厚控制方法

ic5

大海

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61^# 大中小发表于 2003-6-19 00:37 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

我也怕用晶控，我的设备晶控系统就象是傻瓜设计的一样！

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那只虾

工程大师

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62^# 大中小发表于 2003-6-19 19:49 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

To hgw2001 :
“由于的光控的灵敏度高反而会不好 ”怎么理解？

希望与各位膜友多交流！正在用APS1104....

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ic5

大海

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63^# 大中小发表于 2003-6-20 22:27 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

其主要原因是会引起系统的误判，因为系统的噪声是无法避免的！

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ic5

大海

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64^# 大中小发表于 2003-6-21 21:28 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

精度低了不好,精度高了也不好!

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ofeiying

工程大师

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65^# 大中小发表于 2003-6-28 16:31 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

你所说的误判是在设备自动蒸镀时的，如果手动控制则不会很严重。

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ic5

大海

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66^# 大中小发表于 2003-6-28 18:31 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

我的天啊！手动控制对多层膜显得太麻烦！

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stick

专业人士

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67^# 大中小发表于 2003-6-29 00:55 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

晶控也存在一些问题，比如不直观，有用晶控的高手吗？

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shanyu

工程技师

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68^# 大中小发表于 2003-6-29 15:56 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

我经常用晶控，但不是高手！

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ic5

大海

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69^# 大中小发表于 2003-6-30 19:43 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

我认为晶控的精确度决定于设备硬件，其设计的合理性等？如莱宝设备是用2个晶控系统，把不同的材料分开，其控制精确度就高多了！

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ofeiying

工程大师

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70^# 大中小发表于 2003-7-21 20:00 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

精度高的设备，可以试着将灵敏度进行适当的设置。

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cotou

专业人士

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71^# 大中小发表于 2003-7-21 23:49 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

引用:

下面引用由ic5在 2003/06/30 11:43am 发表的内容：
我认为晶控的精确度决定于设备硬件，其设计的合理性等？如莱宝设备是用2个晶控系统，把不同的材料分开，其控制精确度就高多了！

以我的以前的经验
晶控一般只作参考用，因为它的变量太多了
1.它的线性振荡区域常会不知不觉用到超过
2.每一片芯片的振荡又有些许不同
3.外界的影响很大，
4.人员不熟时，常有失误

所以，还是经验最实用

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李伟华

版主

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72^# 大中小发表于 2003-7-22 17:55 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

一片晶控片可用多久？一台机用几片？国内晶控片精度如何？国外晶控发展情况呢/

有缘感恩

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miracle

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73^# 大中小发表于 2003-8-13 06:03 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

不会啊！一般都是用调制信号，用锁相放大器解决噪声问题。

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ofeiying

工程大师

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74^# 大中小发表于 2003-9-7 20:14 只看该作者

[讨论]膜厚控制方法

可以多设置几个晶控探头,来控制不同的膜料.

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