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光学镀膜与膜系设计
» [讨论]膜厚控制方法
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[讨论]膜厚控制方法
ic5
大海
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发表于 2003-6-6 19:41
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[讨论]膜厚控制方法
光控也是这样,比如上次镀膜和这次镀膜的时间就不一样,但监控波长、蒸发速率是一样的,能给于说明其原因吗?
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发表于 2003-6-7 00:16
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[讨论]膜厚控制方法
1.保证蒸发速率不变,仍靠电子枪的能量的输出来保证。在实际的蒸发过程中,电子枪输出的同一能量却往往得不到同样的蒸发速率,主要原因是坩埚中的镀膜材料状态,晶片的灵敏度,真空度,温度在变化。所说的速率不变只是一个相对,它实际是一个不断变化调整的过程。时间不同很正常。
2.国产光控稳定性差是事实,但作一般产品问题不大,选择合适的控制方法很重要(光控)
3。SHINCRON的OPM有多种型号新型的OPM-V很有特点。
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发表于 2003-6-7 20:18
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[讨论]膜厚控制方法
楼上的对SHINCRON的光控很有研究了?那么SHINCRON的光控内的积分球是怎么回事?
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发表于 2003-6-9 19:25
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[讨论]膜厚控制方法
建議可以把真空室內引起反射的機構拆下來噴沙避免檔板打開時,電子槍的光線反射進入光源接收端
造成系統誤判
光源不穩定->光源系統可使用較好的穩壓器
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发表于 2003-6-9 21:44
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[讨论]膜厚控制方法
to wazxq
opm=(结束光量值-峰值光量值)/(起始点的光量值-峰值的光量值);
Shincron的光控内有积分球,我第一次听说;另Shincron根据峰值点来计算折射率1990就已经,随镀膜控制系统软件赠送了。
hxh
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wazxq
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发表于 2003-6-10 17:09
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[讨论]膜厚控制方法
TO: 小技工
谢谢!
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发表于 2003-6-13 23:10
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[讨论]膜厚控制方法
我们的仪器和OPTICRUN光控的设计思路是一样的,比他们的好,准确度高,还有SINCLON的积分球是将杂散光混合,达到均匀得目的,这样光谱才会比较好!,对我们产品有兴趣的请给我发信,我可以寄资料给你们看!CIKELONG2000@163.com
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ofeiying
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发表于 2003-6-14 00:48
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[讨论]膜厚控制方法
给我一份怎样?
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发表于 2003-6-14 00:50
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[讨论]膜厚控制方法
给我一份怎样?
ofeiying@mail.china.com
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发表于 2003-6-14 16:26
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[讨论]膜厚控制方法
cikelong2000 :
能否也给我一份,谢谢!water@aoctel.com
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[讨论]膜厚控制方法
谢谢,我也来一份opticalfilm@yahoo.com
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[讨论]膜厚控制方法
给我也来一份吧,pbs650@163.com
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[讨论]膜厚控制方法
我不要.不要给我!
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发表于 2003-6-17 05:25
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[讨论]膜厚控制方法
现在国内有人在做评价函数控制法,挺先进的!直接在线测试光谱曲线,进行实时修正控制!
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发表于 2003-6-17 07:22
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[讨论]膜厚控制方法
bjp0809 :
能把评价函数控制法说的详细点吗,谢谢!
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发表于 2003-6-17 18:48
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[讨论]膜厚控制方法
我给需要的人都发了,希望能为大家工作提供帮助!也希望各位能有意象购买我们的产品!
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[讨论]膜厚控制方法
ofeiying兄,你的邮件地址或空间不够了,发送失败,提供一个新的地址?!谢谢!
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发表于 2003-6-18 04:28
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[讨论]膜厚控制方法
对于厚度的控制在不同的情况下选择不同的控制方法。晶控主要是用在层数少 氰 况下。这样晶控的精度要高一下。如果这时用光控的话。由于的光控的灵敏度高反而会不好。但是在层数多时。就不适宜用晶控。因为由于在镀膜过程中折射率会发生变化。这样用晶控的话膜厚精度达不到要求。这时就要用光控。而且重复性好。
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发表于 2003-6-18 16:28
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[讨论]膜厚控制方法
其实,如果蒸发源均匀性比较好的话,晶控也是相当准确的
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shanyu
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发表于 2003-6-19 00:27
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[讨论]膜厚控制方法
我现在都害怕用晶控了,怕精度不够,生产失败啊!
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