镀膜过程中，会产生应力，而这种应力对薄膜的特性产生某些不好的影响，大家谈一谈对应力的控制和这些应力的测试。☆

好象没有高手给予指点吗

薄膜应力属于机械性能,分两种:一种是张应力,另一种是压应力.如果薄膜沿平行于基底表面发生收缩现象,则产生张应力,否则产生压应力.它们有外应力,热应力和本征应力组成.外应力是有外力引起,热应力是由于薄膜和基底热膨胀系数不同所致,本征应力的起因比较复杂,主要与镀膜工艺密切相关,诸如沉积温度,薄膜种类,基底性质,沉积速率,真空度,甚至薄膜厚度等等,数量级一般为10E8Pa.要知详细情况,请参阅有关薄膜方面的书籍.

在工艺上有减小应力的方法吗？目前应力最小的成膜方式是怎样的？

1.材料的搭配很重要
2.鍍後作烘烤的時間加長,可時膜應力更穩定

老化处理

台湾李正中有一本书专门写这东东，
但镀膜企业做测试的比较少。