[贴图]平面干涉仪数据

[attach]9813[/attach]<br/>[attach]9814[/attach]<br/>

看不懂[em29]

回复 #1 harryjob 的帖子

楼主，这是富士能干涉测量的数据吧，好像主要是面形和波前畸变指标

感觉没有zygo分析的爽．这个数据看起来有的老土了

富士能干涉测量的数据富士能干涉测量的数据富士能干涉测量的数据

让我看看先[em30] [em29] [em29]

RMS不可能为0，除非采集面积极小。XY方向可以控制像散0.3，全面地0.5是指局部最大误差，峰谷值。

只能大概的测一下，精度方面没法和zygo比，以前日立的分光机也搞过一个这样的合否判定程序，一点都不好用，花了几十万但没投入使用过。

我司正在代理富士能公司的干涉仪系列产品，包括分析系统。若有疑问可以随时联系62310083转22，谢谢！


从数据的显示情况来看，贵司没有选择x-rms和y-rms作为合格判定的条件，所以判定窗口中不会显示这些数据。x-pv主要是指在x轴上的pv值，x轴可以更改其所在横截面为止。